IEDM 2023国际电子元件会议上,台积电公布了一份野心勃勃的半导体制造工艺、封装技术路线图,已经规划到了2030年。
眼下,台积电正在推进3nm级别的N3系列工艺,下一步就是在2025-2027年间铺开2nm级别的N2系列,包括N2、N2P等,将在单颗芯片内集成超过1000亿个晶体管,单个封装内则能做到超过5000亿个。
为此,台积电将使用EUV极紫外光刻、新通道材料、金属氧化物ESL、自对齐线弹性空间、低损伤低硬化低K铜材料填充等等一系列新材料、新技术,并结合CoWoS、InFO、SoIC等一系列封装技术。
再往后就是1.4nm级别的A14、1nm级别的A10——命名和Intel A20、A18如出一辙,但看起来更“先进”。
1nm A10工艺节点计划2030年左右量产,将在单颗芯片内集成超过2000亿个晶体管,单个封装内则超过1万亿个,相比N2工艺翻一倍。
有趣的是,Intel也计划在2030年做到单个封装1万亿个晶体管,可谓针锋相对。
目前最复杂的单芯片是NVIDIA GH100,晶体管达800亿个。
多芯片封装方面处于领先地位的是各种GPU计算芯片,Intel Ponte Vecchio GPU Max超过1000亿个晶体管,AMD Instinct MI300A、MI300X分别有1460亿个、1530亿个晶体管。
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